韓國半導體廠商研發 ALD 新技術，降低 EUV 工藝步驟需求

　　IT之家 7 月 16 日消息，韓媒 The Elec 報道，韓國半導體公司周星工程(Jusung Engineering)最新研發出原子層沉積(ALD)技術，可以在生產先進工藝芯片中降低極紫外光刻(EUV)工藝步驟需求。

　　

 

　　IT之家注：極紫外光刻(EUV)又稱作超紫外線平版印刷術，是一種使用極紫外光波長的光刻技術，目前用于 7 納米以下的先進制程，于 2020 年得到廣泛應用。

　　周星工程董事長 Chul Joo Hwang 表示當前 DRAM 和邏輯芯片的擴展已達到極限，因此需要像 NAND 一樣，通過堆疊晶體管的方式克服這個問題。

　　半導體行業如果想要把晶體管微縮到更小尺寸，一種方案就是堆疊晶體管，其中一個佐證是深紫外線(DUV)設備有望用于生產 3D DRAM。

　　Hwang 說，隨著堆疊變得越來越重要，ALD 機器的需求也將增加。III-V 和 IGZO 半導體的生產也需要 ALD 設備。